Analysis of the oxygen contamination present in SiNx films deposited by electron cyclotron resonance

  1. García, S.
  2. Martin, J.M.
  3. Mártil, I.
  4. González-Diaz, G.
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 1520-8559,  0734-2101

Datum der Publikation: 1995

Ausgabe: 13

Nummer: 3

Seiten: 826-830

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1116/1.579835 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus