Ion-beam processing of silicon at keV energies: A molecular-dynamics study

  1. Caturla, M.
  2. Díaz de la Rubia, T.
  3. Marqués, L.
  4. Gilmer, G.
Aldizkaria:
Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

ISSN: 1550-235X,  1098-0121

Argitalpen urtea: 1996

Alea: 54

Zenbakia: 23

Orrialdeak: 16683-16695

Mota: Artikulua

DOI: 10.1103/PHYSREVB.54.16683 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus