Kinetic Monte Carlo simulation for semiconductor processing: A review

  1. Martin-Bragado, I.
  2. Borges, R.
  3. Balbuena, J.P.
  4. Jaraiz, M.
Zeitschrift:
Progress in Materials Science

ISSN: 0079-6425

Datum der Publikation: 2018

Ausgabe: 92

Seiten: 1-32

Art: Rezension

DOI: 10.1016/J.PMATSCI.2017.09.003 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus