Kinetic Monte Carlo simulation for semiconductor processing: A review
- Martin-Bragado, I.
- Borges, R.
- Balbuena, J.P.
- Jaraiz, M.
Aldizkaria:
Progress in Materials Science
ISSN: 0079-6425
Argitalpen urtea: 2018
Alea: 92
Orrialdeak: 1-32
Mota: Berrikuspena