Irradiation effect on dielectric properties of hafnium and gadolinium oxide gate dielectrics
- García, H.
- Dueñas, S.
- Castán, H.
- Gómez, A.
- Bailón, L.
- Barquero, R.
- Kukli, K.
- Ritala, M.
- Leskelä, M.
ISSN: 1071-1023
Datum der Publikation: 2009
Ausgabe: 27
Nummer: 1
Seiten: 416-420
Art: Artikel