Raman scattering and photoluminescence analysis of silicon on insulator structures obtained by single and multiple oxygen implants

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Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 1991

Ausgabe: 70

Nummer: 3

Seiten: 1678-1683

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.349536 GOOGLE SCHOLAR