Raman characterization of SOI-SIMOX structures

  1. Martin, E.
  2. Jiménez, J.
  3. Pérez-Rodrígues, A.
  4. Morante, J.R.
Zeitschrift:
Materials Letters

ISSN: 0167-577X

Datum der Publikation: 1992

Ausgabe: 15

Nummer: 1-2

Seiten: 122-126

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0167-577X(92)90026-G GOOGLE SCHOLAR

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