Detailed computer simulation of ion implantation processes into crystals
ISSN: 1743-2847, 0267-0836
Any de publicació: 1995
Volum: 11
Número: 11
Pàgines: 1191-1193
Tipus: Article
ISSN: 1743-2847, 0267-0836
Any de publicació: 1995
Volum: 11
Número: 11
Pàgines: 1191-1193
Tipus: Article