Micro-Raman study of UV laser ablation of GaAs and Si substrates

  1. García, C.
  2. Ramos, J.
  3. Prieto, A.C.
  4. Jiménez, J.
  5. Geertsen, C.
  6. Lacour, J.L.
  7. Mauchien, P.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Año de publicación: 1996

Volumen: 96-98

Páginas: 370-375

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0169-4332(95)00488-2 GOOGLE SCHOLAR