B diffusion and clustering in ion implanted Si: The role of B cluster precursors

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Zeitschrift:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Datum der Publikation: 1997

Ausgabe: 70

Nummer: 17

Seiten: 2285-2287

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.118839 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus