Modeling of the effects of dose, dose rate, and implant temperature on transient enhanced diffusion

  1. Pelaz, L.
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  6. Barbolla, J.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Año de publicación: 1999

Volumen: 74

Número: 14

Páginas: 2017-2019

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.123742 GOOGLE SCHOLAR
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