Analysis of the crystallization kinetics and microstructure of polycrystalline SiGe films by optical techniques

  1. Olivares, J.
  2. Martín, P.
  3. Rodríguez, A.
  4. Sangrador, J.
  5. Martínez, O.
  6. Jiménez, J.
  7. Rodriguez, T.
Actas:
Materials Research Society Symposium - Proceedings

ISSN: 0272-9172

Año de publicación: 2000

Volumen: 588

Páginas: 221-226

Tipo: Aportación congreso

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