Kinetic Monte Carlo simulations: An accurate bridge between ab initio calculations and standard process experimental data

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Zeitschrift:
Materials Science in Semiconductor Processing

ISSN: 1369-8001

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 3

Nummer: 1-2

Seiten: 59-63

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S1369-8001(00)00013-5 GOOGLE SCHOLAR