Nucleation site location its influence on the microstructure of solid-phase crystallized SiGe films

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Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Año de publicación: 2001

Volumen: 90

Número: 5

Páginas: 2544-2552

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.1389075 GOOGLE SCHOLAR
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