Controlled fabrication by LPCVD of luminescent SiGe/SiO2 (LTO) very thin multilayers

  1. Rodríguez, A.
  2. Sangrador, J.
  3. Rodríguez, T.
  4. Avella, M.
  5. Prieto, A.C.
  6. Jiménez, J.
  7. Ortiz, M.I.
  8. Ballesteros, C.
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium - Proceedings

ISSN: 0272-9172

Datum der Publikation: 2003

Ausgabe: 794

Seiten: 77-82

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1557/PROC-794-T3.35 GOOGLE SCHOLAR