Ion implant simulations: Kinetic Monte Carlo annealing assessment of the dominant features
ISSN: 0003-6951
Año de publicación: 2004
Volumen: 84
Número: 24
Páginas: 4962-4964
Tipo: Artículo
ISSN: 0003-6951
Año de publicación: 2004
Volumen: 84
Número: 24
Páginas: 4962-4964
Tipo: Artículo