Ion implant simulations: Kinetic Monte Carlo annealing assessment of the dominant features

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Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Año de publicación: 2004

Volumen: 84

Número: 24

Páginas: 4962-4964

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.1762696 GOOGLE SCHOLAR
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