Dose loss and segregation of boron and arsenic at the Si/SiO2 interface by atomistic kinetic Monte Carlo simulations
ISSN: 0921-5107
Año de publicación: 2005
Volumen: 124-125
Número: SUPPL.
Páginas: 392-396
Tipo: Aportación congreso
ISSN: 0921-5107
Año de publicación: 2005
Volumen: 124-125
Número: SUPPL.
Páginas: 392-396
Tipo: Aportación congreso