InP surface properties under ICP plasma etching using mixtures of chlorides and hydrides
- Liu, B.
- Landesman, J.-P.
- Leclercq, J.-L.
- Rhallabi, A.
- Avella, M.
- González, M.A.
- Jiménez, J.
- Guilet, S.
- Cardinaud, C.
- Pommereau, F.
ISSN: 1092-8669
ISBN: 9780780395589
Any de publicació: 2006
Volum: 2006
Pàgines: 278-281
Tipus: Aportació congrés