Physical insight into boron activation and redistribution during annealing after low-temperature solid phase epitaxial regrowth

  1. Aboy, M.
  2. Pelaz, L.
  3. López, P.
  4. Marqús, L.A.
  5. Duffy, R.
  6. Venezia, V.C.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Año de publicación: 2006

Volumen: 88

Número: 19

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.2203334 GOOGLE SCHOLAR

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