Study of atomic layer deposited gadolinium oxide thin films on silicon

  1. Dueñias, S.
  2. Castán, H.
  3. García, H.
  4. Gómez, A.
  5. Bállon, L.
  6. Kukli, K.
  7. Hantapää, T.
  8. Lu, J.
  9. Ritala, M.
  10. Leskela, M.
Actas:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

ISBN: 9781605604282

Año de publicación: 2007

Volumen: 996

Páginas: 133-138

Tipo: Aportación congreso

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