Boron electrical activation in SOI compared to bulk Si substrates

  1. Aboy, M.
  2. Pelaz, L.
  3. López, P.
  4. Montserrat, J.
  5. Bermúdez, F.J.
Actas:
2007 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings

ISBN: 9781424408689

Ano de publicación: 2007

Páxinas: 29-32

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1109/SCED.2007.383988 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus