Experimental observations of temperature-dependent flat band voltage transients on high-k dielectrics

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  7. Ritala, M.
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Zeitschrift:
Microelectronics Reliability

ISSN: 0026-2714

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 47

Nummer: 4-5 SPEC. ISS.

Seiten: 653-656

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MICROREL.2007.01.080 GOOGLE SCHOLAR

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