Electrical characterization of high-k dielectrics by means of flat-band voltage transient recording

  1. Duenas, S.
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  3. Garcia, H.
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  6. Ritala, M.
  7. Leskela, M.
Actas:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

ISBN: 9781605604282

Año de publicación: 2007

Volumen: 996

Páginas: 169-174

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1557/PROC-0996-H07-11 GOOGLE SCHOLAR

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