Predictive simulations and optimization of advanced ultra-shallow junction formation for nano-CMOS devices

  1. Colombeau, B.
  2. Mok, K.R.C.
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  5. Jaraiz, M.
  6. Chu, S.
Actas:
Extended Abstracts of the 7th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2007

ISBN: 9781424411030

Año de publicación: 2007

Páginas: 17-22

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/IWJT.2007.4279936 GOOGLE SCHOLAR
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