Atomistic modeling and physical comprehension of the effects of implant dose rate on boron activation in pMOSFET S/D

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Actas:
ESSDERC 2007 - Proceedings of the 37th European Solid-State Device Research Conference

ISBN: 9781424411238

Año de publicación: 2007

Volumen: 2007

Páginas: 338-341

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/ESSDERC.2007.4430947 GOOGLE SCHOLAR
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