Multiscale modeling of radiation damage and annealing in Si

  1. Pelaz, L.
  2. Marqués, L.A.
  3. López, P.
  4. Santos, I.
  5. Aboy, M.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Any de publicació: 2007

Volum: 255

Número: 1 SPEC. ISS.

Pàgines: 95-100

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.NIMB.2006.11.035 GOOGLE SCHOLAR