Multiscale modeling of radiation damage and annealing in Si

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Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 255

Nummer: 1 SPEC. ISS.

Seiten: 95-100

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.NIMB.2006.11.035 GOOGLE SCHOLAR
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