Identification of spatial localization and energetic position of electrically active defects in amorphous high-k dielectrics for advanced devices
- García, H.
- Dueñas, S.
- Castán, H.
- Bailón, L.
- Kukli, K.
- Aarik, J.
- Ritala, M.
- Leskelä, M.
ISSN: 0022-3093
Año de publicación: 2008
Volumen: 354
Número: 2-9
Páginas: 393-398
Tipo: Artículo