Angular distributions of sputtered atoms from semiconductor targets at grazing ion beam incidence angles

  1. Sekowski, M.
  2. Burenkov, A.
  3. Hernández-Mangas, J.
  4. Martinez-Limia, A.
  5. Ryssel, H.
Actes:
AIP Conference Proceedings

ISSN: 1551-7616,  0094-243X

ISBN: 9780735405974

Any de publicació: 2008

Volum: 1066

Pàgines: 236-239

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1063/1.3033602 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus