Angular distributions of sputtered atoms from semiconductor targets at grazing ion beam incidence angles

  1. Sekowski, M.
  2. Burenkov, A.
  3. Hernández-Mangas, J.
  4. Martinez-Limia, A.
  5. Ryssel, H.
Aktak:
AIP Conference Proceedings

ISSN: 1551-7616,  0094-243X

ISBN: 9780735405974

Argitalpen urtea: 2008

Alea: 1066

Orrialdeak: 236-239

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1063/1.3033602 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus