Strain evaluation in SiC MEMS test structures

  1. Bosi, M.
  2. Attolini, G.
  3. Watts, B.E.
  4. Frigeri, C.
  5. Rossi, F.
  6. Poggi, A.
  7. Roncaglia, A.
  8. Mancarella, F.
  9. Martínez, O.
  10. Hortelano, V.
Actas:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566777452

Año de publicación: 2009

Volumen: 25

Número: 8 PART 2

Páginas: 1031-1037

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1149/1.3207702 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus