Atomistic simulations of the effect of implant parameters on Si damage

  1. López, P.
  2. Pelaz, L.
  3. Marqués, L.A.
  4. Aboy, M.
  5. Santos, I.
Actas:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Año de publicación: 2009

Páginas: 12-15

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800417 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus