Study of atomic layer deposited zirconium oxide thin films by using mono-cyclopentadienyl based precursors

  1. Castán, H.
  2. Dueñas, S.
  3. García, H.
  4. Gómez, A.
  5. Bailón, L.
  6. Kukli, K.
  7. Niinistö, J.
  8. Ritala, M.
  9. Leskelä, M.
Actes:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Any de publicació: 2009

Pàgines: 8-11

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800416 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus