Temperature effect on damage generation mechanisms during ion implantation in Si. A classical molecular dynamics study

  1. Santos, I.
  2. Marqués, L.A.
  3. Pelaz, L.
  4. López, P.
  5. Aboy, M.
Konferenzberichte:
AIP Conference Proceedings

ISSN: 0094-243X,  1551-7616

ISBN: 9780735411098

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 1496

Seiten: 229-232

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1063/1.4766530 GOOGLE SCHOLAR lock_openUVADOC editor

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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Datenquelle: Scopus