Temperature effect on damage generation mechanisms during ion implantation in Si. A classical molecular dynamics study

  1. Santos, I.
  2. Marqués, L.A.
  3. Pelaz, L.
  4. López, P.
  5. Aboy, M.
Actas:
AIP Conference Proceedings

ISSN: 0094-243X,  1551-7616

ISBN: 9780735411098

Año de publicación: 2012

Volumen: 1496

Páginas: 229-232

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1063/1.4766530 GOOGLE SCHOLAR lock_openUVADOC editor

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