2 MeV electron irradiation effects on the electrical characteristics of metal-oxide-silicon capacitors with atomic layer deposited Al2O 3, HfO2 and nanolaminated dielectrics
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Revista:
Solid-State Electronics
ISSN: 0038-1101
Año de publicación: 2013
Volumen: 79
Páginas: 65-74
Tipo: Artículo