Composition profiles in InP/InAsP quantum well structures under the effect of reactives gases during dry etching processes - Luminescence and SIMS

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Actas:
Conference Proceedings - International Conference on Indium Phosphide and Related Materials

ISSN: 1092-8669

ISBN: 9781479957293

Año de publicación: 2014

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/ICIPRM.2014.6880554 GOOGLE SCHOLAR

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