Atomic layer deposited nanolaminates of zirconium oxide and manganese oxide from manganese(III)acetylacetonate and ozone

  1. Kalam, K.
  2. Rammula, R.
  3. Ritslaid, P.
  4. Käämbre, T.
  5. Link, J.
  6. Stern, R.
  7. Vinuesa, G.
  8. Duenas, S.
  9. Castán, H.
  10. Tamm, A.
  11. Kukli, K.
Revista:
Nanotechnology

ISSN: 1361-6528,  0957-4484

Any de publicació: 2021

Volum: 32

Número: 33

Tipus: Article

DOI: 10.1088/1361-6528/ABFEE9 GOOGLE SCHOLAR lock_openAccés obert editor
Font de les dades: Scopus