Atomic layer deposited nanolaminates of zirconium oxide and manganese oxide from manganese(III)acetylacetonate and ozone

  1. Kalam, K.
  2. Rammula, R.
  3. Ritslaid, P.
  4. Käämbre, T.
  5. Link, J.
  6. Stern, R.
  7. Vinuesa, G.
  8. Duenas, S.
  9. Castán, H.
  10. Tamm, A.
  11. Kukli, K.
Aldizkaria:
Nanotechnology

ISSN: 1361-6528,  0957-4484

Argitalpen urtea: 2021

Alea: 32

Zenbakia: 33

Mota: Artikulua

DOI: 10.1088/1361-6528/ABFEE9 GOOGLE SCHOLAR lock_openSarbide irekia editor
Datuen iturria: Scopus