Electric and magnetic properties of atomic layer deposited ZrO 2 -HfO 2 thin films

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Zeitschrift:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777,  2162-8769

Datum der Publikation: 2018

Ausgabe: 7

Nummer: 9

Seiten: N117-N122

Art: Artikel

DOI: 10.1149/2.0041809JSS GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
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