Atomic layer deposition and performance of ZrO2-Al2O3 thin films

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Revista:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777,  2162-8769

Año de publicación: 2018

Volumen: 7

Número: 5

Páginas: P287-P294

Tipo: Artículo

DOI: 10.1149/2.0021806JSS GOOGLE SCHOLAR
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