Atomic layer deposition and characterization of dysprosium-doped zirconium oxide thin films

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Zeitschrift:
Chemical Vapor Deposition

ISSN: 1521-3862 0948-1907

Datum der Publikation: 2015

Ausgabe: 21

Nummer: 7-9

Seiten: 181-187

Art: Artikel

DOI: 10.1002/CVDE.201507170 GOOGLE SCHOLAR

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