Atomic layer deposition and characterization of dysprosium-doped zirconium oxide thin films
- Tamm, A.
- Kozlova, J.
- Arroval, T.
- Aarik, L.
- Ritslaid, P.
- García, H.
- Castán, H.
- Dueñas, S.
- Kukli, K.
- Aarik, J.
ISSN: 1521-3862, 0948-1907
Argitalpen urtea: 2015
Alea: 21
Zenbakia: 7-9
Orrialdeak: 181-187
Mota: Artikulua