Atomic layer deposition and characterization of dysprosium-doped zirconium oxide thin films

  1. Tamm, A.
  2. Kozlova, J.
  3. Arroval, T.
  4. Aarik, L.
  5. Ritslaid, P.
  6. García, H.
  7. Castán, H.
  8. Dueñas, S.
  9. Kukli, K.
  10. Aarik, J.
Aldizkaria:
Chemical Vapor Deposition

ISSN: 1521-3862 0948-1907

Argitalpen urtea: 2015

Alea: 21

Zenbakia: 7-9

Orrialdeak: 181-187

Mota: Artikulua

DOI: 10.1002/CVDE.201507170 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak