Hole trap distribution on 2 MeV electron irradiated high-k dielectrics

  1. Dueñas, S.
  2. Castán, H.
  3. García, H.
  4. Fuentes, L.M.
  5. Bailón, L.
  6. Campabadal, F.
  7. Rafí, J.M.
  8. González, M.B.
  9. Takakura, K.
  10. Tsunoda, I.
  11. Yoneoka, M.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics

ISSN: 2166-2754 2166-2746

Año de publicación: 2015

Volumen: 33

Número: 3

Tipo: Artículo

DOI: 10.1116/1.4915617 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible