The effect of carbon/self-interstitial clusters on carbon diffusion in silicon modeled by kinetic Monte Carlo simulations

  1. Pinacho, R.
  2. Jaraíz, M.
  3. Gossmann, H.J.
  4. Gilmer, G.H.
  5. Benton, J.L.
  6. Werner, P.
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium - Proceedings

ISSN: 0272-9172

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 610

Art: Konferenz-Beitrag