Simulation of cluster evaporation and transient enhanced diffusion in silicon
- Rafferty, C.S.
- Gilmer, G.H.
- Jaraiz, M.
- Eaglesham, D.
- Gossmann, H.-J.
ISSN: 0003-6951
Año de publicación: 1996
Volumen: 68
Número: 17
Páginas: 2395-2397
Tipo: Artículo
Revista:
Applied Physics Letters