Simulations of thin film deposition from atomic and cluster beams

  1. Gilmer, G.H.
  2. Roland, C.
  3. Stock, D.
  4. Jaraiz, M.
  5. Diaz De La Rubia, T.
Zeitschrift:
Materials Science and Engineering B

ISSN: 0921-5107

Datum der Publikation: 1996

Ausgabe: 37

Nummer: 1-3

Seiten: 1-7

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0921-5107(95)01449-7 GOOGLE SCHOLAR
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