Phase stepping microscopy for layer thickness measurement in silicon-on-insulator structures

  1. Martín, E.
  2. Sanz, L.F.
  3. Jiménez, J.
  4. Pérez-Rodríguez, A.
  5. Morante, J.R.
  6. Aspar, B.
  7. Margail, J.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 1997

Volumen: 311

Número: 1-2

Páginas: 225-229

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0040-6090(97)00681-0 GOOGLE SCHOLAR
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