Extending defect models for Si processing: The role of energy barriers for defect transformation, entropy and coalescence mechanism

  1. Santos, I.
  2. Caballo, A.
  3. Aboy, M.
  4. Marqués, L.A.
  5. López, P.
  6. Pelaz, L.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Any de publicació: 2022

Volum: 512

Pàgines: 54-59

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.NIMB.2021.12.002 GOOGLE SCHOLAR lock_openAccés obert editor

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Projectes relacionats

MODELADO ATOMÍSTICO DE LA IRRADIACIÓN DE ALTA ENERGÍA EN SEMICONDUCTORES

2021/00218/001

Font de les dades: Scopus