Extending defect models for Si processing: The role of energy barriers for defect transformation, entropy and coalescence mechanism

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Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 2022

Ausgabe: 512

Seiten: 54-59

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.NIMB.2021.12.002 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor

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